ultrasonic

超音波加工について

動画で見る超音波加工

強化ガラス 穴あけ面取り加工

URT40-F41
CUS40
DOL:24μm
加工寸法
  • Φ1穴・面取り加工
  • Φ9穴・面取り加工
  • Φ10x1.2長穴・面取り加工
F41のみ
  • 122x67mm 外周面取り加工

4φ工具超音波比較

4φ工具超音波無
4φ工具超音波有
  • ワーク:ソーダガラス
  • 加工深さ :-18mm
  • 加工速度:3mm/min

深穴加工に対しても超音波有の加工では目詰まりが起こりにくく加工ができます。

0 5φ工具超音波比較

0 5φ工具超音波無
0 5φ工具超音波有
  • ワーク:アルミナ
  • 加工深さ:-4mm
  • 加工速度:3mm/min

硬い加工品に対しても超音波有の加工では通常よりも工具が逃げることなく加工できます。

30kHz超音波加工テスト

  • 切り込み量:0.2mm
  • 加工速度:1000mm/min
  • 振幅:17μm
  • 周波数:30kHz
  • ツール径:φ60
  • ワーク:青板ガラス

0 7t面取り動画

  • 切り込み量:0.2mm
  • 加工速度:1000mm/min
  • 振幅:17μm
  • 周波数:30kHz
  • ツール径:φ60
  • ワーク:青板ガラス

30kHz超音波SP

30kHz超音波SP/φ20mm/25mm貫通

シリコンウェハー 高速面取り

8インチ シリコンウェハー ベベリング加工を行いました。通常加工において焼けやチッピングが発生しやすいのですが、超音波で加工することにより発生を軽減できます。

  • ワーク:シリコンウェハー
  • 加工速度:1500mm/min
  • 切り込み量:50μm

切削ユニットにおける ワークに対する応力場観察

通常の慣用加工では、ワークに大きな力を加えながら加工を行っているが確認出来ます。
対して、超音波加工では, 慣用加工に比べて ワークに大きな力を加えずに加工が出来ていることが確認できます。

詳細情報(PDF)
長岡技術科学大学提供
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